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《科創(chuàng)板日?qǐng)?bào)》6月26日訊（實(shí)習(xí)記者 朱凌 記者 劉淮西）嚴(yán)峻國(guó)際形勢(shì)和日趨競(jìng)爭(zhēng)科技之下，半導(dǎo)體設(shè)備國(guó)產(chǎn)化機(jī)遇與挑戰(zhàn)并存。

2023年8月20-22日，“2023中國(guó)真空技術(shù)與半導(dǎo)體應(yīng)用大會(huì)暨半導(dǎo)體真空設(shè)備與零部件高端論壇”將在上海張江科學(xué)會(huì)堂舉辦。本次會(huì)議旨在促進(jìn)半導(dǎo)體及真空技術(shù)科研院校、真空設(shè)備及零部件企業(yè)、半導(dǎo)體制造企業(yè)（集成電路、新能源、顯示、LED、汽車電子等）之間的深度交流和融合創(chuàng)新，探尋針對(duì)性、實(shí)效性合作機(jī)會(huì)。

本次會(huì)議由中國(guó)中小企業(yè)促進(jìn)發(fā)展中心、中國(guó)半導(dǎo)體行業(yè)協(xié)會(huì)、上海市經(jīng)濟(jì)和信息化委員會(huì)、上海市科學(xué)技術(shù)協(xié)會(huì)指導(dǎo)，國(guó)家集成電路創(chuàng)新中心、上海市真空學(xué)會(huì)、上海市集成電路行業(yè)協(xié)會(huì)、財(cái)聯(lián)社主辦，復(fù)旦大學(xué)微電子學(xué)院、復(fù)創(chuàng)芯、上海浦東人才發(fā)展有限公司、《科創(chuàng)板日?qǐng)?bào)》承辦。

真空技術(shù)在半導(dǎo)體的前制程裝備中發(fā)揮著重要作用，應(yīng)用于離子注入、物理氣相沉積（PVD）、化學(xué)氣相沉積（CVD）、原子層沉積（ALD）、干法刻蝕等系統(tǒng)中。目前，相關(guān)科研院校已突破不少技術(shù)難點(diǎn)。

本次會(huì)議分為五大主題，分別為：集成電路、新能源、顯示、LED、汽車電子領(lǐng)域中先進(jìn)半導(dǎo)體工藝、器件；ALD/PVD/CVD及外延技術(shù)在半導(dǎo)體研究和產(chǎn)業(yè)中的應(yīng)用；真空技術(shù)在先進(jìn)半導(dǎo)體工藝、器件領(lǐng)域中的應(yīng)用；真空設(shè)備及其零部件在半導(dǎo)體領(lǐng)域中的應(yīng)用；企業(yè)與科研院所產(chǎn)學(xué)研合作對(duì)接。

會(huì)議誠(chéng)邀從事半導(dǎo)體工藝、器件及設(shè)備等領(lǐng)域（集成電路、新能源、LED、汽車電子）研究的科研院所課題組長(zhǎng)、系主任、副院長(zhǎng)、院長(zhǎng)和學(xué)生；以及利用真空、等離子體等技術(shù)進(jìn)行半導(dǎo)體器件功能薄膜制備（ALD/PVD/CVD/外延等）研究的科研機(jī)構(gòu)，包括大學(xué)、研究所的教師和學(xué)生參加。

在會(huì)議上，您可直面行業(yè)頂級(jí)學(xué)者、專家，獲得行業(yè)技術(shù)前沿?zé)狳c(diǎn)及發(fā)展趨勢(shì)，獲得國(guó)家級(jí)、省部級(jí)項(xiàng)目的新動(dòng)向、新機(jī)遇；直面企業(yè)技術(shù)高管和決策者，獲得產(chǎn)學(xué)研潛在合作機(jī)會(huì)。

會(huì)議亦誠(chéng)邀半導(dǎo)體應(yīng)用領(lǐng)域的真空鍍膜設(shè)備、真空測(cè)量、真空零部件等企業(yè)的管理者和技術(shù)負(fù)責(zé)人；以及集成電路、新能源、顯示、LED、汽車電子等領(lǐng)域的制造企業(yè)管理者和技術(shù)負(fù)責(zé)人參加。

在會(huì)議上，您可和企業(yè)內(nèi)技術(shù)高管和采購(gòu)決策者深度交流，獲得進(jìn)入科研院所和半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)市場(chǎng)的機(jī)會(huì)和資源；直面行業(yè)技術(shù)負(fù)責(zé)人、學(xué)者、專家，獲得企業(yè)技術(shù)難題解決方案、前沿技術(shù)路線和市場(chǎng)發(fā)展趨勢(shì)；有助于企業(yè)把握戰(zhàn)略商機(jī)、提升行業(yè)認(rèn)知度。

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